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去膠機在晶圓芯片行業(yè)的應(yīng)用及原理

閱讀次數(shù):[1256] 發(fā)布時間:2023-01-11

去膠機在晶圓芯片行業(yè)的應(yīng)用及原理

  去膠機是用來解除UV膠膜和切割膜膠帶之間粘結(jié)的全自動解膠設(shè)備。許多晶圓半導(dǎo)體行業(yè)在生產(chǎn)過程中,需要先把晶圓切片用劃片膠固定起來,然后進行劃片加工處理,最后通過UVLED光源對固定好的晶圓切片進行照射,使晶元切片上的UV膠膜發(fā)生硬化,從而降低與切割膜膠帶之間的粘性,從而達到輕松將膠帶從晶圓切片上取下來,UVLED去膠機完美的解決了晶圓行業(yè)、玻璃制品和陶瓷切割上的解膠工序?! ?/p>

  國產(chǎn)去膠機采用箱體式結(jié)構(gòu),機器內(nèi)部配有UVLED紫外光固化設(shè)備,可根據(jù)客戶的使用需求,照射面積、定制波段大小、光照強度等參數(shù)。采用智能顯示屏控制系統(tǒng),可隨意調(diào)節(jié)功率大小、照射時長,使用非常方便!同時UV脫膠機箱口采用手拉式結(jié)構(gòu),方便晶圓切片的放置和取出;另配有門禁感應(yīng)裝置,拉動箱口門把手時,UVLED光源設(shè)備會自動停止,避免紫外光源的外溢?!?/p>

  UVLED紫外光是單波段“冷光源”設(shè)備,被照射基材表面升溫小,有效解決了晶圓行業(yè)在加工處理時產(chǎn)生的熱損害現(xiàn)象。UVLED去膠機的光源設(shè)備使用壽命比較長,平均使用壽命大約在20000H左右,遠超傳統(tǒng)UV汞燈的使用時長。UVLED光源是單波段紫外光,通過電能向光能的轉(zhuǎn)換,光電轉(zhuǎn)換有效率高,可有效節(jié)約電量的使用。不含“汞”污染,工作時不會產(chǎn)生臭氧,影響工作環(huán)境!


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